氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展：
經(jīng)過(guò)近半個(gè)世紀(jì)的努力，今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面：
（1）便攜式：zui近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。
（4）全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的
氦質(zhì)譜檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。
（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。
氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí)
（1）前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；
（2）電磁閥組的超聲清洗；
（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。
氦質(zhì)譜檢漏儀主要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設(shè)備內(nèi)芯的制造借鑒*技術(shù)，整機(jī)設(shè)置合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高，反應(yīng)快，開(kāi)機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)。檢漏效果達(dá)到*水平。
